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东莞市高能工业气体有限公司
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五氟乙烷
五氟乙烷是一种有机化合物,结构式为CF3CHF2。属于无色不燃气体。相对密度(水=1)为1.245,相对蒸气密度(空气=1)为4.2。饱和蒸汽压为1244 kPa(21.1℃)。微溶于水、烃类。正常情况下稳定,受高温分解,放出有毒气体(氟化氢和四氟化碳)。储存时应避免与碱金属和银、铜等金属接触。主要用作制冷剂;通常用作鼓风机和推进剂;在半导体生产过程中用作氧化物的浸蚀剂;用作灭火剂;用作发泡剂的替代物 [2] 。
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