乙硅烷是一种无机化合物，其化学式为Si2H6，在常温常压下为无色透明具有不愉快刺激臭的有毒气体。它具有与硅烷类似的化学性质，但其反应性比硅烷更强。它比硅烷更不稳定，在室温缓慢分解成硅烷和氢。在300～500℃分解成为SiH4、SinHm、H2，在光照下也分解。主要用于太阳能电池、感光转筒、非晶硅膜、外延成长、氧化膜、氮化膜、化学气相沉积等方面。
乙硅烷Si2H6
1.别名·英文名
Disilane、Disilicoethane，Silicoethane?Disilicon hexahy-dride、Disilicane．
2.用途
太阳能电池、感光转筒、非晶硅膜、外延成长、氧化膜、氮化膜、化学气相淀积。
3.制法
(1)硅化镁法．
Mg2Si+HCl→Si2H6+MgCl2
反应产物为单硅烷、乙硅烷、丙硅烷、丁硅烷的混合物，把它们精制分离后得乙硅烷。
(2)还原法：用氢化铝锂等还原剂还原六氯乙硅烷。
乙硅烷用低温精馏和吸附等方法精制。
(3)甲硅烷无声放电。
4.理化特性：
分子量： 66.22
熔点(101.325kPa)： -132.6℃
沸点(101.325kPa)： -14.3℃
液体密度(-14.3℃，101.325kPa)： 901 kg/m3
气体密度(-14.3℃，101.325kPa)： 2.97kg/m3
临界温度： 150.85℃
临界压力： 5150kPa
临界密度： 338kg/m3
压缩系数：
| 温度℃ | 压缩系数 |
| 100kPa | 200kPa | 400kPa | 600kPa |
| 1550 | 0.97990.9857 | 0.95920.9710 | 0.9405 | 0.9081 |
熔化热(-132.6℃，14055kPa)： 1.34 kJ/kg
气化热(-14.3℃，101.325kPa)： 343.74 kJ/kg
蒸气压(-80℃)： 3.4kPa
(0℃)： 181kPa
80℃)： 1468kPa
着火点： 室温
乙硅烷在常温常压下为无色透明具有不愉快刺激臭的有毒气体。它具有与硅烷类似的化学性质，但其反应性比硅烷更强。它比硅烷更不稳定，在室温缓慢分解成硅烷和氢。在300～500℃分解成为SiH4、SinHm、H2，在光照下也分解。在空气中自燃，着火点力室温，所以，遇到空气瞬间就燃烧，并分解成为SiH4和H2。燃烧浓度范围宽，在0.2%以上时，燃烧发出火焰，在0.2%以下时，进行氧化反应生成白色的SiO2。在氯气中也爆炸性地燃烧。与卤素气体爆炸性地反应，但如果是在低温，则适度地进行卤化。与SF6接触则爆炸。与四氯化碳和氯仿激烈反应。与碱金属及汞合金反应分解生成硅烷和氢。与苛性钾作用游离出H2。与纯水和酸不反应，但与碱反应生成硅酸盐和氢。即使从玻璃中溶解出的那种程度微量碱的存在，也能使乙硅烷水解。在KH或LiCl杂质的存在下，在常温也缓慢地分解。
Si2H6—→SiH4+(SiH2)x
乙硅烷可溶于二硫化碳、乙基醇、苯和乙基硅酸。它腐蚀橡胶、黄油类、润滑油、铅等，但对大多数金属不腐蚀。
5.毒性
有关乙硅烷的毒性方面的文献资料很少，但是从理论上以及其它类似氢化物的毒性中可以推测出，乙硅烷也是有毒的。
6.安全防护
因为乙硅烷比硅烷更不稳定，所以，应该比硅烷更加注意(参见硅烷)。钢瓶温度不能冷却到乙硅烷的沸点(-14.3℃)以下，因为这是非常危险的。
因为乙硅烷在空气中自燃，很容易发现其泄漏，而且有时在泄漏时产生爆炸声，所以要沉着处理泄漏。当小量泄漏时，要站在上风方向去关闭钢瓶阀；关闭阀门仍然止不住时，要浇水并监视到完全烧完为止；或者转移到通风良好的安全场所。当大量泄漏时，主要考虑控制火势使火灾不扩展到别处。为此，要消除一切火源，把附近的可燃物转移出去；采取一切保护措施，例如，浇水降温，把泄漏容器沉入水中，让它在水面上燃烧，撤离人员，封锁危险区等，使人员和物质财富少受损失。
参见附录中的有关内容。
乙硅烷无腐蚀性，可以用碳钢、不锈钢、铜、黄铜、蒙乃尔、耐盐酸镍基合金、聚四氟乙烯、聚三氟氯乙烯聚合体、尼龙、氟化橡胶、玻璃等。
乙硅烷废气可用碱的水溶液吸收或用燃烧法处理。
